中高壓質量流量控制器

簡要描述：V10FC中高壓型采用全不銹鋼傳感器，適合于測量各種與316不銹鋼兼容的氣體。V10FC采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。

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V10FC中高壓型采用全不銹鋼傳感器，適合于測量各種與316不銹鋼兼容的氣體。V10FC采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置，具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內容：氣體選擇、單位選擇、量程設定，報警點設定，閥門狀態、自動校準等。與熱式流量計不同，當用氣體轉換系數時，V10FC沒有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。產品應用產品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析儀器等。
	V10FC-M/HM型MFC外觀圖
產品特點 ● 通用型，適合10Mpa以下各種氣體測量 ● 無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩定性0.1%F.S/年 ● 準確度0.8%，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定 ● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出 ● 無需預熱，測量時無響應滯后 ● 內置31種氣體轉換系數，無比熱容附加誤差，不影響精度 ● 自動累計，分段累計功能

技術指標	V10FC-M/HC質量流量控制器	V10FC-M/HC質量流量計
量程范圍	小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
控制范圍	控制器50：1	流量計100：1
準確度	流量：±0.8%讀數±0.2%滿量程
	可選±0.4%讀數±0.2%滿量程
	壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃
線性	±0.5%F.S
重復精度	±0.2%F.S
響應時間	100ms	10ms
數字量	RS232/485，MODBUS協議
模擬量	0～5V、4～20mA、1～5V
供電	12V/24V/±15V可選
工作溫度	0～50℃
工作壓力	工作壓差：0.03～0.5MPa	工作壓降：<0.01Mpa
*大耐壓	中壓3MPa，高壓10MPa
電氣連接	DB15孔
漏率	1×10-9SCCSHe
溫度系數	±0.015%F.S/℃
底座材質	316L
密封材料	氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接頭	VCR1/4;swagelokφ6

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